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　　近日，2022年度山西省科技重大專項計劃“揭榜掛帥”項目中榜名單公布，長治高新區(qū)深紫外LED量產(chǎn)型金屬有機(jī)化合物氣相沉積（MOCVD）裝備研發(fā)項目在列。這是長治高新區(qū)深入實施創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略，積極開展前瞻性、引領(lǐng)性科學(xué)技術(shù)研究和關(guān)鍵共性技術(shù)攻關(guān)取得的又一重要成果。

　　MOCVD作為LED最核心環(huán)節(jié)的外延片生長關(guān)鍵設(shè)備，制造工藝復(fù)雜，技術(shù)含量高，是制造環(huán)節(jié)中單項投資最大的設(shè)備。長治高新區(qū)深紫外LED量產(chǎn)型MOCVD裝備研發(fā)項目從我國第三代半導(dǎo)體材料和光電子器件的重大需求出發(fā)，致力于針對 MOCVD研制提出切實可行并具有自主知識產(chǎn)權(quán)的技術(shù)途徑，大幅度提高器件性能、降低器件生產(chǎn)成本，推動深紫外光源全面進(jìn)入空氣消殺、水凈化、表面消殺等應(yīng)用市場，帶動公共衛(wèi)生安全和家庭健康應(yīng)用等巨量市場加速發(fā)展。據(jù)了解，項目實施后，將填補專用于深紫外LED量產(chǎn)型MOCVD裝備（一次生長20片以上2英寸外延片）的世界空白，為第三代半導(dǎo)體外延材料發(fā)展提供基礎(chǔ)配套，促進(jìn)國內(nèi)光電產(chǎn)業(yè)上游行業(yè)襯底技術(shù)的發(fā)展，有效支撐和延伸我省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，為全市經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展注入活力。同時，通過項目成果的轉(zhuǎn)化應(yīng)用，可以集聚行業(yè)尖端人才，凝聚一支具有國際水平的研發(fā)隊伍，為國家安全和促進(jìn)相關(guān)高技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展作出貢獻(xiàn)。

　　山西省科技重大專項計劃“揭榜掛帥”項目是山西省科技計劃體系中層次最高的科技項目，通過廣泛征集高校、科研院所、科技型企業(yè)等國內(nèi)外各類創(chuàng)新主體開展產(chǎn)學(xué)研合作揭榜攻關(guān)，重點解決面向世界科技前沿、面向全省經(jīng)濟(jì)主戰(zhàn)場、面向人民生命健康的重大科學(xué)問題和“卡脖子”技術(shù)、重大科技成果轉(zhuǎn)化應(yīng)用問題。去年11月，2022年度山西省科技重大專項計劃“揭榜掛帥”項目公布，長治高新區(qū)深紫外LED量產(chǎn)型MOCVD裝備研發(fā)項目榜上有名。此次揭榜該項目的單位是中科院半導(dǎo)體研究所和長治學(xué)院，他們在自主研制設(shè)備和外延工藝開發(fā)上都具有豐富經(jīng)驗，將為項目的順利實施提供保證。（曹云）